JRZ für Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulsten Laserquellen
Das Josef-Ressel-Zentrum für Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulsten Laserquellen wurde 2018 erfolgreich abgeschlossen und in Folgeprojekte überführt.
In Josef Ressel Zentren wird anwendungsorientierte Forschung auf hohem Niveau betrieben, hervorragende Forscher:innen kooperieren dazu mit innovativen Unternehmen. Für die Förderung dieser Zusammenarbeit gilt die Christian Doppler Forschungsgesellschaft international als Best Practice Beispiel.
Das Josef-Ressel Zentrum für Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulsten Laserquellen war eine gemeinsame Initiative mit Spectra-Physics Rankweil. Im Fokus stand die forschungsbezogene Zusammenarbeit.
Josef Ressel Zentren werden vom Bundesministerium für Wissenschaft, Forschung und Wirtschaft (BMWFW) und den beteiligten Unternehmen gemeinsam finanziert.
Forschungsbereiche
Geforscht wird an einem grundlegenden Verständnis der Laser-Materie-Wechselwirkung bei ultrakurzen Laserpulsen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf Materialien, die mit herkömmlichen Laserquellen schwer zu bearbeiten sind und auf Materialien, die als vielversprechend für die Entwicklung von Mikrosystemen angesehen werden.
Wichtig ist dabei die Kontrolle und Analyse der Prozessparameter. Das Zentrum verfügt dazu über eine umfangreiche Analytik, von der Probenpräparation bis zur Elektronenmikroskopie.
Erkenntnisse der Forschungsarbeit werden auf einigen Spezialgebieten angewendet: Bearbeitung von dielektrischen Materialien und polymeren Werkstoffen, sowie selektive Ablation von mikrotechnischen Schichtsystemen.
Mögliche Anwendungsgebiete für die Forschungsergebnisse gibt es viele: Biochips, Sensoren, Mikrosysteme, Mikrofluidik (Verhalten von Flüssigkeiten und Gasen auf kleinstem Raum).
Oberflächenfunktionalisierung
Einer der Hauptschwerpunkte der Forschung des Josef Ressel Zentrum lag auf der Oberflächenfunktionalisierung. Unter Funktionalisierung wird hier die Steuerung des Benetzungsverhaltens der Oberfläche mittels Laserstrukturierung verstanden.
Der Femtosekundenlaser ist ein ideales Werkzeug, um nahezu beliebige Oberflächentopografen durch einen schnellen Direktschreibprozess herzustellen. Darüber hinaus hat der Femtosekundenlaser die Fähigkeit, eine große Vielzahl an Materialien mit hoher Präzision und mit minimaler thermischer Belastung zu strukturieren. Als Ergebnis dieser Arbeiten wurde unter anderem ein Herstellungsprozess entwickelt, um Oberflächen mit hohem Benetzungskontrast zu erzeugen. Dieses Verfahren wurde vom Projektpartner Spectra-Physics patentiert und als ClearSurface vermarktet.
Clear surfaceTM
Der Herstellungsprozess einer auf Basis von ClearSurfaceTM gefertigten funktionalen Oberfläche erfolgt in drei Schritten. Im ersten wird ein hydrophiles (wasseranziehendes) Substrat, beispielsweise Glas, mit dem Laser strukturiert. Das Ziel liegt in der Herstellung einer sogenannten hierarchischen Oberflächenstruktur, bei welcher sich Geometrien im Mikrometerbereich mit kleineren Strukturen im Nanometerbereich überlagern.
Nach diesem ersten Strukturierungsschritt verhält sich die Oberfläche superhydrophil (stark wasseranziehend). Durch anschließendes Beschichten mit einem teflonartigen Polymer als zweiten Schritt wird dieselbe Oberfläche superhydrophob mit einem Benetzungsverhalten ähnlich der Lotusblüte (Lotuseffekt).
Um Strukturen mit hohem Benetzungskontrast herzustellen, folgt ein abschließender Strukturierungsschritt bei welchem mit dem Femtosekundenlaser die Polymerschicht selektiv wieder abgetragen wird. Durch den direktschreibenden Laserprozess kann dies mit beliebigen Geometrien umgesetzt werden. Die hohen Benetzungskontraste werden in der Abbildung demonstriert. Zu sehen ist das Logo von Spectra-Physics aus Wasser. Das Substrat ist flach, das Wasser wird allein durch die sehr großen Unterschiede in der Benetzbarkeit der Oberfläche regelrecht aufgetürmt.
Bionik
Ein Beispiel dafür, wie ClearSurfaceTM im Bereich der Bionik Anwendung findet, konnte im Rahmen einer Masterarbeit gezeigt werden. In dieser wurde die Oberfläche eines „nebeltrinkenden“ Wüstenkäfers mittels Laserstrukturierung nachempfunden. Winzige Hügel auf den Flügeln dieses Käfers weisen eine glatte, wasseranziehende Oberfläche auf.
Die Täler dazwischen sind dagegen rau und mit einer wachsähnlichen Substanz überzogen, so dass sie Feuchtigkeit abweisen. Sobald die an den Erhebungen hängenden Wassertropfen eine gewisse Größe erreicht haben, lösen sie sich und rollen durch die Rinnen herab zum Maul des Käfers. Dieses Verhalten aus der Natur konnte mit ClearSurfaceTM auf einer Glasoberfläche nachempfunden werden. Messungen zeigen eine deutliche Erhöhung der Wassersammelrate im Vergleich zu einer unbearbeiteten Probe.
Publikation dazu:
- E. Kostal, S. Stroj, S. Kasemann, V. Matylitskaya and M. Domke: Fabrication of Biomimetic Fog-Collecting Superhydrophilic-Superhydrophobic Surface Micropatterns Using Femtosecond Lasers, Langmuir 34(9):2933-2941 (2018), doi: 10.1021/acs.langmuir.7b03699.
Herstellung von Piezoaktuatoren aus PMN-PT
Durch seine geringe thermische Belastung bei der Bearbeitung ist der Femtosekundenlaser das ideale Werkzeug zur Bearbeitung von spröden und temperatursensitiven Materialien. Dazu gehört beispielsweise Blei-Magnesium-Niobat-Blei-Titanat (PMN-PT). Dieser piezoelektrische Kristall weist ungewöhnlich hohe dielektrische und piezoelektrische Eigenschaften auf.
Am Institut für Festkörperphysik an der Universität Linz wurde ein Piezo-Aktuator designt, der es ermöglicht durch Einbringung einer definierten Spannung, die Energie von verschränkten Photonen, die von QDs emittiert werden, abzustimmen, ohne den Verschränkungsgrad der Photonenpaare zu beeinträchtigen.
Dieser auf PMN-PT basierende Aktuator weist eine sternförmige Geometrie auf, die mit herkömmlichem Verfahren nur sehr schwer zu fertigen ist. Aus diesem Grund wurde am Resselzentrum ein fs-Laser- Schneidprozess zur Fertigung des Aktuators entwickelt. Dabei dürfen die piezoelektrischen Eigenschaften des Kristalls nicht beeinträchtigt werden. Des Weiteren müssen bestimmte Anforderungen hinsichtlich Genauigkeit und Kantenqualität erfüllt werden.
Dies verhindert Rissausbreitung bei angelegter Spannung bzw. ermöglicht die Herstellung von Bauteilen mit minimalen Abständen zwischen den Aktuatorarmen.
Publikation dazu:
- Martín-Sánchez J., Trotta R., Piredda G., Schimpf C., Trevisi G. and Seravalli L. , Frigeri P. , Stroj S. , Lettner T. , Reindl M. , Wildmann J. S. , Edlinger J. , Rastelli A. “Reversible Control of In-Plane Elastic Stress Tensor in Nanomembranes”, Advanced Optical Materials, Doi: 10.1002/adom.201500779
- Trotta R., Martín-Sánchez J., Wildmann J. S., Piredda G., Reindl M., Schimpf C., Zallo E., Stroj S., Edlinger J. and Rastelli A. “Wavelength-tunable sources of entangled photons interfaced with atomic vapours” Nat. Comm. ,15, 10375 (2016). Doi:10.1038/ncomms10375
- G. Piredda, S. Stroj, D. Ziss, J. Stangl, R. Trotta, J. Martin-Sanchez, and A. Rastelli „Micromachining of PMN-PT crystals with ultrashort laser pulses” Arxiv:1811.12287 (2018)
Vergangene Publikationen
E. Kostal, S. Stroj, S. Kasemann, V. Matylitsky, and M. Domke, “Fabrication of Biomimetic Fog-Collecting Superhydrophilic–Superhydrophobic Surface Micropatterns Using Femtosecond Lasers”, Langmuir, 2018, 34 (9), pp 2933–2941. | |
J. Martin-Sanchez, R. Trotta, A. Mariscal, R. Serna, G. Piredda, S. Stroj, J. Edlinger, C. Schimpf, and more, ”Strain-tuning of the optical properties of semiconductor nanomaterials by integration onto piezoelectric actuators”, Semiconductor Science and Technology, 2018, 33(1), 013001 (39 pp.), DOI: 10.1088/1361-6641/aa9b53. | |
M. Spellauge; F. Loghin; J. Sotrop; M. Domke; M. Bobinger; A. Abdellah; M. Becherer; P. Lugli; H. P. Huber: "Ultra-short-pulse laser ablation and modification of fully sprayed single walled carbon nanotube networks". Carbon, 138, 234–242. 2018. DOI: 10.1016/j.carbon.2018.05.074. | |
R. Moser; M. Domke; J. Winter; H. P. Huber; G. Marowsky: "Single pulse femtosecond laser ablation of silicon – a comparison between experimental and simulated two-dimensional ablation profiles". Advanced Optical Technologies. 2018. DOI: 10.1515/aot-2018-0013. | |
M. Domke; S. Wick; M. Laible; S. Rapp; H. P. Huber; R. Sroka: "Ultrafast dynamics of hard tissue ablation using femtosecond-lasers". Journal of biophotonics, e201700373. 2018. DOI: 10.1002/jbio.201700373. | |
S. Ströbl, M. Domke, Ch. Vonach, J. Gratt, T. Trebst, R. Sroka: Ultrafast-laser fabrication of optical fiber diffusers for medical applications, LPM 2018, 25-28 June 2018, Edinburgh, Great Britain. |
J. Voyer, F. Ausserer, S. Klien, A. Ristow, I. Velkavrh, A. Diem, J. Zehetner, S. Stroj, S. Heidegger, C. Bertschler, and J. Edlinger, „Sub-Micro Laser Modifications of Tribological Surfaces“, Materials Performance & Characterization - Special Issue on Surface Texturing; DOI: 10.1520/MPC20160015. | |
M. Domke; B. Egle; S. Stroj; M. Bodea; E. Schwarz; G. Fasching: "Ultrafast-laser dicing of thin silicon wafers". Applied Physics A, 123, 12, 553. 2017. DOI: 10.1007/s00339-017-1374-7. | |
S. Stroj; S. Kasemann; M. Domke; G. Piredda; J. Zehetner; V. Matylitskaya: "Transparent superhydrophobic surfaces with high adhesion generated by the combination of femtosecond laser structuring and wet oxidation". Applied Surface Science, 420, 550–557. 2017. DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.05.045. | |
Method for selectively enhancing wetting characteristics for substrate, involves applying substrate coating to substrate and feature, and selectively ablating portion of substrate coating from substrate to expose feature formed on substrate, Patent Number(s): WO2017142958-A1, Inventor(s): M. Domke, E. Kostal, S. Stroj, S. Kasemann, F. Hendricks, V. Matylitsky, Patent Assignee Name(s) and Code(s): NEWPORT CORP (NEWP-Non-standard) |
M. Bandić, G. Verbanac, M. B. Moldwin, V. Pierrard, G. Piredda: “MLT dependence in the relationship between plasmapause, solar wind, and geomagnetic activity based on CRRES: 1990-1991”, Journal of Geophysical Research – Space Physics, 121, 4397 (2016), Doi: 10.1002/2015JA022278 | |
Matthias Domke, Elisabeth Kostal, Sandra Stroj, Stephan Kasemann, Volha Matylitskaya, Wasser sammeln wie ein Nebeltrinker-Käfer: Herstellung biomimetischer Oberflächen mit fs-Lasern, Workshop Erzeugung bionischer Oberflächen mittels Laserstrukturierung, Nürnberg, Germany, 16. November 2016. (Presentation only) | |
Matthias Domke, Bernadette Egle, Giovanni Piredda, Sandra Stroj, Gernot Fasching, Marius Bodea, Elisabeth Schwarz. Ultrashort pulse laser dicing of thin Si wafers. Journal of Micromechanics and Microengineering. 26(11), 115004 (2016), DOI: 10.1088/0960-1317/26/11/115004. | |
Matthias Domke, Benjamin Bernard, Victor Matylitsky, Ultrashort pulse laser dicing of thin silicon wafers: influence of pulse duration and burst mode on cutting speed and quality, 42nd Micro and Nano Engineering (MNE 2016), 19-23 September, Vienna, 2016. (Presentation only). | |
Stephen Ho, Matthias Domke, David Roper, Heinz P. Huber, Peter R. Herman, Femtosecond Laser Quantized Structuring in thin SiOx Film, CLEO: Science and Innovations 2016, San Jose, California United States, 5–10 June 2016, DOI: 10.1364/CLEO_SI.2016.STh3Q.4. | |
Martín-Sánchez J., Trotta R. , Piredda G. , Schimpf C. , Trevisi G. and Seravalli L. , Frigeri P. , Stroj S. , Lettner T. , Reindl M. , Wildmann J. S. , Edlinger J. , Rastelli A. “Reversible Control of In-Plane Elastic Stress Tensor in Nanomembranes”, Advanced Optical Materials, Doi: 10.1002/adom.201500779 | |
Trotta R., Martín-Sánchez J., Wildmann J. S., Piredda G., Reindl M., Schimpf C., Zallo E., Stroj S., Edlinger J. and Rastelli A. “Wavelength-tunable sources of entangled photons interfaced with atomic vapours” Nat. Comm. ,15, 10375 (2016). Doi:10.1038/ncomms10375 | |
Matthias Domke, Bernadette Egle, Giovanni Piredda, Gernot Fasching, Marius Bodea, Elisabeth Schwarz, Investigation of the breaking strength of ultrashort pulse laser diced thin Si wafers, Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXI, San Francisco, California, United States, 13 - 18 February 2016 (Presentation only) | |
Matthias Domke, Johannes Gratt, Ronald Sroka. Fabrication of homogeneously emitting optical fiber diffusors using fs-laser ablation. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 97400O, 1–10 (2016), DOI: 10.1117/12.2212475. | |
Matthias Domke, Giovanni Piredda, Johann Zehetner, Sandra Stroj. Minimizing the Surface Roughness for Silicon Ablation with Ultrashort Laser Pulses. Journal of Laser Micro/Nanoengineering. 11(1), 100–103 (2016), DOI: 10.2961/jlmn.2016.01.0019 |
Domke, M. Transiente physikalische Mechanismen bei der Laserablation von dünnen Metallschichten Dissertation: ISBN 978-3-87525-385-6 | ||
Domke, M., Piredda, G., Zehetner, J., and Stroj, S., Minimizing the surface roughness for silicon ablation with ultrashort laser pulses Proc. LAMP 15-021, 1–4 (2015). | ||
Zehetner, J., Domke, M., Piredda, G., Kraus, S., Lucki, M., Vanko, G., Dzuba, J., Ryger, I., Lalinsky, T., Benkler, M., Laser polarization condition affecting ablation quality of thin membranes for SiC or ceramic based GaN/ferroelectric thin film MEMS and pressure sensors Proc. LAMP 15-053, 1-6 (2015) | ||
Piredda G., Rein A., Zehetner J. and Matylitsky V., Mechanical properties of ultrafast‐laser cut poly(lactic acid) films, Proc. LIM, (2015). | ||
Domke, M., Piredda, G., and Stroj, S., Calculating the optimal combination of pulse-to-pulse distance and fluence for scribing and patterning with ultrashort pulsed lasers Proc. LIM, 1–6 (2015). | ||
Domke, M., Gavrilova, A., Rapp, S., Frentzen, M., Meister, J., and Huber, H. P., Time-resolved microscopy reveals the driving mechanism of particle formation during ultrashort pulse laser ablation of dentin-like ivory Journal of Biomedical Optics 20(7), 76005 (2015); doi:10.1117/1.JBO.20.7.076005 |
Domke, M., Felsl, D., Rapp, S., Sotrop, J., Huber, H. P., and Schmidt, M., Evidence of Pressure Waves in Confined LaseAblation J. Laser Micro Nanoeng. 10(2), 119–123 (2015); doi:10.2961/jlmn.2015.02.0002
M. Domke: The state of matter of thin molybdenum films at the ablation threshold using ns- and ps-pulses, Laser Processing in Photovoltaics, 27 to 28 November 2014, Leipzig, Germany. | ||
J. Zehetner, G. Vanko, P.Choleva, J.Dzuba, I.Ryger, T.Lalinsky: Using of laser ablation technique in the processing technology of GaN/SiC based MEMS for extreme conditions, ASDAM 2014, 20 to 22 October 2014, Smolenice Castle, Slovakia. DOI: 10.1109/ASDAM.2014.6998693 | ||
B. Fäßler, G. Piredda and Johann Zehetner: SYSTEMATIC STUDY OF THE ROUGHNESS OF BIODEGRADABLE POLYMER SURFACES PROCESSED BY ULTRASHORT LASER PULSES,ICALEO 2014, 19 to 23 October 2014, San Diego, CA, USA. Show PDF: Paper | ||
M. Domke, L. Nobile, S. Rapp, S. Eiselen, J. Sotrop, H. P. Huber, M. Schmidt, Understanding thin film laser ablation: The role of the effective penetration depth and the film thickness, 8th International Conference on Photonic Technologies LANE 2014,08 to 11 September, 2014, Physics Procedia 56 ( 2014 ), 1007 – 1014. DOI: 10.1016/j.phpro.2014.08.012 | ||
M. Domke, S. Wick, H. Huber, M. Wahler, J. Edlinger, C. Homann, J. Kutnesova, R. Sroka, Investigations of the damage mechanisms during ultra short pulse laser ablation of dental tissue, International Conference on Laser Applications in Life Sciences, 29 June to 2 July 2014, Ulm, Germany. Show Abstract: SPIE | ||
M. Domke, D. Felsl, S. Rapp, J. Sotrop, H. P. Huber, M. Schmidt, The role of shockwaves in confined laser ablation, Proceedings of LPM2014 - the 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Vilnius, Litauen, 2014. Show PDF: Paper | ||
T. Pacher, A. Prinz, S. Partel, V. V. Matylitsky, S. Stroj, Microstructuring of resist double layers by a femtosecond laser ablation and UV lithography hybrid process, Photonics West 2014, 2 to 6 February 2014, San Francisco, Paper: 8968-24. DOI: 10.1117/12.2037683 | ||
T. Pacher, A. Prinz, S. Partel, V. V. Matylitsky, S. Stroj, Selective structuring of thick SU-8 layers on fused silica by femtosecond laser ablation for medical applications, Photonics West 2014, 2 to 6 February 2014, San Francisco, Paper: 8976-3. |